行业资讯
首页 >>行业资讯>>我国半导体产业用高纯金属有机化合物前体资料(MO源)完成产业化(www.hkin.com.cn 易库存中国)
我国半导体产业用高纯金属有机化合物前体资料(MO源)完成产业化(www.hkin.com.cn 易库存中国)
2013-03-06 00:00:00
字号:   

 在国家863方案的继续支持下,我国MO源的研讨和产业化取得了可喜成绩,在产品描绘、组成制备、纯化技能、测验办法和封装容器等方面的研讨水平不断提高,

当前已开宣布20多个MO源品种,其纯度到达99.999%-99.99995%,有些种类的研发技能进入世界领先队伍,并完成了产业化。首要发展状况如下:
一.研发技能不断向高的层次展开,尤其是领先的合作物纯化技能在MO源纯化过程中的成功使用,大大提升了MO源的质量。
二.完成了第一条纯度为99.9999%的高纯三甲基镓生产线,年生产能力到达500公斤,产物的高质量得到用户充分肯定,产物占有国内(大陆)商场的近70%,一起,已销往台湾地区和韩国、日本等国家。
三.正在建造第二条年产2000Kg的高纯三甲基镓生产线;完善建造年产300公斤纯度为99.99995%的高纯三甲基铟生产线;建造第一条年产三百公斤纯度为
99.99995%的高纯三甲基铝生产线。建成的生产线完成产销后,能满意当前世界商场有关产物需求量的40%左右。
四.世界最大的MO源研讨生产基地英国的Epichem公司,通过对南大光电高纯三甲基铟的严厉调查,现已正式向南大光电订购。一起,高纯三甲基铟产物也已
经通过德国闻名的Osram公司的查核,开端正式供货。
  国家86三操持从1986年启动之初就反对阻滞MO源预研任务,颠末二十多年继续搀扶,在南京大学等花样承担单位的合营乐意下,一九九七年科技部(原国家科委)许诺寄予南京大学创建国家86三操持新材料MO源研究开拓核心,“十五”时期MO源全数产品进入工业化实施阶段,以高纯三甲基镓、高纯三甲基铝、高纯三甲基铟和高纯二茂镁4个品种的常识产权作价入股,在姑苏工业园区国内科技园创建“江苏南大广电材料股分无量公司”(如下简称南大光电),劈头入手实施这四个品种的扩产履行任务,非常是高纯三甲基铟和高纯三甲基铝的工业化。南京大学、南大光电和河北汇能电力电子无量公司还合营承担了“十1五”国家86三操持“半导体照明工程”伟大花样的“高纯(6.5N)铝源、铟源分娩工艺及其分析体式格局的研究”课题。二00六岁尾,上海同华创业投资管理无量公司注入资金1000万元,江苏省科技厅损害创业投资配套资助500万元,合营插手二期工程确立。  MO源即高纯金属无机化合物前体材料是MOCVD(无机金属化学气相堆积)技术生长化合物半导体材料的支撑材料。MO源的品种及品质与MOCVD技术的进步间接相干。作为MO源的高纯金属无机化合物必须具备契合的组织、契合的蒸汽压、契合的分化温度和很高的纯度,1般商用产品的纯度苦求在99.9999%以上。(编辑:HKin.com.cn